사업성과 R&D Project

중기부 및 서울시 산학 협력 R&D 사업

8인치 초고진공 정전척 개발
글쓴이관리자 (IP: *.194.42.104)
작성일2020-08-25 17:02 조회수122,562
글쓴이 관리자 (IP: *.194.42.104) 작성일 2020-08-25 17:02 조회수 122,562
위탁기관 책임자 : 권기청 교수
소속 : 전자바이오물리학과
주관기업 : 어플라이드사이언스㈜
사업구분 : 2020년 중소기업기술혁신개발사업 / 시장확대형 과제
과제명 : 8인치 초고진공 정전척 개발
사업기간 : 2020.06.01 ~ 2022.05.31 (24개월)
1차년도 총사업비 : 375,000천원


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